Известия высших учебных заведений. Электроника home

Публикации журнала

Известия высших учебных заведений
Публикации журнала

Раздел находится в стадии актуализации

Статьи

Технологические процессы

Обоснование перечня маркерных загрязняющих веществ микроэлектронного производства

135 - 142

Исследование адгезионной прочности функциональных слоев фотошаблонов и фотошаблонных заготовок с проектными нормами 90–65 нм

143 - 157

Формирование осесимметричных структур в диоксиде кремния методом фокусированного ионного пучка в краевом режиме построчного сканирования

158 - 167